高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積;作為氧化源與產生高純水的反應劑;干法氧化;

與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質;

在冶金工業中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。